产品介绍

• 操作方式：全自动
• 加工定制：是
• 型号/规格参数：SMU-1625LA
• 仪器外形尺寸(L*W*H)：3150*2450*1620
• XY测量行程：1600*2500MM
• 测量浅性精度：≤5+L/200
• 玻璃台面尺寸：1800*2710MM
• Z轴行程：有效空间200mm
• 玻房工作台承重：30kg
• 传动型式：P级精密线性导轨/C5级研磨滚珠丝杆
• XY轴基座：00级济南青大理石
• 驱动电机：高性能CNC伺服系统
• 仪器重量：6000kg
• XYZ光学尺分辨率：0.0005