产品介绍

• 是否支持加工定制：是
• 是否进口：否
• 型号：SMU-4040HA
• Ｘ/Y/Z测量行程：400X400X200mm
• Z轴行程：调焦行程200mm（可根据客户需求定制加高）
• XY轴基座：00级济南青大理石
• 仪器底座：00级济南青大理石
• 玻璃台面尺寸：480X480mm
• 玻璃台承重：30kg
• Ｘ/Y线性测量精度（μm）：≤2.8+L/200
• 机台定位精度（μm）：≤2.8
• 重复精度（μm）：≤2.8
• 仪器外形尺寸（L*W*H)：1150X820X1760mm
• 质保：整机质保1年，终身维护