产品介绍

• 极限真空：≤8.0 × 10-5 Pa (真空室常温清洁，蒸发室无样品、无镀膜材料)
• 加热方式：上烘烤、侧壁烘烤、下烘烤（可选）
• 设备型号：TIV-2700光学镀膜机
• 腔体直径：Φ2700*H1600（mm）
• 高真空系统：分子泵、扩散泵、低温泵(可选)
• 控制系统：工控机+触摸屏全自动控制
• 低真空系统：干泵、直联泵、罗茨泵、旋片泵（可选）
• 离子源：射频离子源、霍尔离子源、考夫曼离子源、中空阴极离子源(可选)
• 膜厚测量：英福康XTC-3、SQC310、上海膜林(可选)
• 电子枪：单电子枪、双电子枪、多位电子枪(可选)
• 工件转动：伞形工件架、行星工件架、滚筒式工件架(可选)
• 探头系统：单探头、6位探头及12位探头(可选)
• 深冷装置：多家供应商(可选)
• 阻蒸系统：单位阻蒸、两位阻蒸及多位旋转阻蒸(可选)
• 所需电力：三相电、380V、50HZ
• 真空保压：关闭高阀， 1 小时后真空度≤8× 10- 2Pa
• 设备重量：14T～15T
• 设备所需水压：0.3-0.4MPa
• 设备所需气压：0.6-0.8MPa
• 可售卖地：北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆