产品介绍

• 是否支持加工定制：是
• 型号：ISC150
• 加工定制：是
• 泵组：进口机械泵
• 机械泵抽速：＞2m3/h
• 极限真空：＜1Pa
• 抽空时间：＜3min
• 工作气压：5-10Pa，恒压控制
• 真空测量：进口皮拉尼真空计
• 磁控溅射靶：靶材尺寸φ50*0.1-2mm
• 溅射时间：1-600s，程序控制
• 溅射电源：恒功率磁控DC溅射电源Max. 30W,Max. 100mA, 0-800V DC
• 等离子清洗源：RF射频等离子体源，Max. 50W,13.56MHz
• 控制方式：触摸屏控制，一键式操控
• 电源：110-220V AC，50/60Hz接地三脚插头
• 功耗：＜500W
• 尺寸重量：40*30*35cm；20kg