产品介绍

• 工作温度：0~50℃
• 型号：FDC-320
• 压力：1500 Psi/100 Bar
• 流量精度：±％1 F.S
• 泄漏率：1x10-9 atm. cc/sec He
• 电源：+15~24 V dc
• 最大功耗：10W（MFC）；3W（MFM）
• 阀门类型：常闭 (MFM无意义)
• 基体材质：316L不锈钢
• 密封材质：氟橡胶、三元乙丙橡胶、丁腈橡胶
• 量程：30 slm-10 sccm
• 重复性：±0.2％ F.S
• 控制范围：2％~100％ F.S
• 响应时间：<2s
• 温度系数：Zero: <0.05％ of F.S./℃. Span: <0.1％ of S.P. /℃
• 压力系数：0.2％ of S.P. / Bar
• 预热时间：5 min精度达到±2％ F.S（30 min达到最佳精度）
• 数字通讯：RS-485兼容0~5 V / 4~20mA
• 电气接口：9-pin D-connector (male)