产品介绍

• 是否支持加工定制：否
• 系列：半导体
• 设备尺寸：1300mm*1200mm*1950mm
• 设备名称：滤光片检测设备
• 产品尺寸范围：①弯曲度0.9-1.7mm； ②基片大小77*77mm，150mm*150mm
• 产品制成/工艺段：未切割的滤光片大片
• 可检测缺陷：点子大小
• 方案特点：高精度、高准确率
• 方案特点2：20μm以下的点子修正后误差在5μm以下≥95% （即二次元测量与设备测量的尺寸差值在5μm以下的准确率在95%或以上，验证时以二次元测量为标准）
• 方案特点3：分辨率：2.5μm/pixel
• 可售卖地：北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆