产品介绍

• 是否支持加工定制：否
• 规格：1500mm
• 型号：SU8600
• 加工定制：是
• SE分辨率 15KV：0.6nm
• SE分辨率 1KV：0.7nm
• 放大倍率：20-2000000
• 加速电压：0.01 ～ 30kV
• 束流：≥20nA
• 样品交换仓尺寸：150mm
• 电子枪：冷场发射电子枪
• 样品台驱动：5轴
• 样品换样方式：可观察到样品交换过程
• 真空度：10-8Pa
• 真空泵：有
• 离子泵：有