产品介绍

• 前级泵：15L/min
• 极限真空：≤5E-5Pa
• 加热方式：电加热
• 外形尺寸：600*650*1150mm(H)
• 镀膜电极结构：馈通
• 基准温度：2000℃
• 漏率：＜1E-10Pa.m3/s
• 腔体材质：石英玻璃
• 功能：真空镀膜
• 是否定制：是
• 样品尺寸：φ150
• 蒸发层数：99
• 电源数：2个
• 镀膜类别：金属、有机物
• 极限真空度：≤5.0E-5 Pa (经烘烤除气后)
• 系统检漏漏率：≤1.0E-9 Pa.l/S
• 蒸发源数：4组
• 膜厚控制形式：膜厚仪
• 成膜速率：各种材料综合速率≥10nm/min
• 膜厚均匀性：综合均匀性误差≤5%
• 系统组成：石英玻璃腔室、真空泵系统、蒸发源、直流电源、膜厚仪、电控系统、软件系统
• 可售卖地：北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆
• 型号：SRT-400